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CCQ型-氣動(dòng)超高真空插板閥

 

CCQ型氣動(dòng)超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向,控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號(hào)裝置。

主要技術(shù)性能

適用范圍  105~1.3×10-7Pa
 閥門漏率  ≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200)
  ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250)
 適用溫度  -30~+150℃
 閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差  ≤2.7×103Pa.
 氣源壓力  0.4~0.6MPa

主要零件材料

閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)、丁腈橡膠。

外形及連接尺寸(mm)

Model
型號(hào)
DN
A
H
D
Do
D1
D2
D3
L
L1
G
E
n-d
法蘭標(biāo)準(zhǔn)
CCQ-50
50
60
92
89
72.4
61.6
55.6
515
153
220
65
8-M8
GB6071
CCQ-63
63
65
105
114
92.1
82.6
76.6
566
180
220
80
8-M8
CCQ-80
80
65
130
130
110
99
93
603
200
220
80
16-M8
CCQ-100
100
70
152
152
130.2
120.7
114.7
653
267
220
95
16-M8
CCQ-150
150
70
202
202
181
171.5
165.5
771
350
270
95
20-M8
CCQ-200
200
80
251
253
231.8
222.3
216.6
889
424
270
115
24-M8
CCQ-250
250
85
300
314
288
308
275
271
1127
574
350
140
24-M10
JB5278
CCQ-300
300
85
352
365
338
353
323
318
1197
613
420
140
32-M10
CCQ-320
320
85
372
385
357
379
344
340
1197
613
440
140
36-M10
JB5278
CCQ-400
400
110
456
497
454
480
440
436
1666
810
536
180
36-M12
CCQ-500
500
135
595
590
555
580
540
536
1835
870
640
220
40-M12
CCQ-630
630
135
690
700
658
680
639
635
1930
960
780
280
40-M16
CCQ-800
800
150
880
890
855
880
835
831
2200
1100
950
350
60-M16


 
 

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